六軸精密對位平臺
發(fā)布時(shí)間：
2019-08-19
瀏覽次數(shù):
526
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特性：
動負(fù)載20Kg
靜負(fù)載50Kg
絕對定位精度＜15um
重復(fù)定位精度±1um
臺面偏擺角度＞2°
應(yīng)用案例：實(shí)際應(yīng)用晶圓半導(dǎo)體的晶圓檢測設(shè)備，UVW對位與水平調(diào)整。 |
2019
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點(diǎn)擊次數(shù):
662
一字體UVW對位平臺采用2~3點(diǎn)支撐，由三個(gè)驅(qū)動軸組成，因?yàn)橐蛔煮w排列支撐可讓平臺達(dá)到小型化并保持薄、穩(wěn)之優(yōu)點(diǎn)，空間占比更小，加上三軸XXY同時(shí)驅(qū)動可達(dá)到精準(zhǔn)定位。 臺面尺寸：70*115~90*600mm重復(fù)精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±1~3°動靜負(fù)載：10-15Kg\25~30Kg螺桿導(dǎo)軌：0801（0802）\R2030臺面尺寸：80*180mm重復(fù)精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±5°動靜負(fù)載：30Kg\80Kg螺桿導(dǎo)軌：0801\R2045臺面尺寸：126*326mm以上重復(fù)精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±2°動靜負(fù)載：10Kg\30Kg螺桿導(dǎo)軌：0801\R2...
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點(diǎn)擊次數(shù):
344
客制化UVW對位平臺采用多點(diǎn)支撐，可依據(jù)客戶特殊需求進(jìn)行方案設(shè)計(jì)，提供客戶快速快捷的解決方案。
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點(diǎn)擊次數(shù):
396
特性：靜負(fù)載2000Kg絕對定位精度＜10um重復(fù)定位精度±0.5um側(cè)向力20Kg＜20um 可用于一次對位應(yīng)用案列 ：實(shí)際應(yīng)用于A客戶XR系列面板貼合，并搭配軟件使用一次對位功能。驗(yàn)證結(jié)果：經(jīng)過2500Kg重壓2000次后，功能精度正常。
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點(diǎn)擊次數(shù):
1044
特殊設(shè)計(jì)XYθ對位平臺采用X、Y、θ三軸模塊化搭配，可因應(yīng)非標(biāo)設(shè)計(jì)需求，可隨意搭配X、Y軸不同行程需求，達(dá)到不同功能之對位與長行程移載一體設(shè)計(jì)需求，節(jié)省設(shè)計(jì)空間與機(jī)構(gòu)成本。XYθ對位平臺臺面尺寸：130*130mm重復(fù)精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±3°動靜負(fù)載：15Kg\30Kg螺桿導(dǎo)軌：0801\R3Yθ對位平臺臺面尺寸：200*200mm重復(fù)精度：P±4um\UP±2um行程角度：±25mm\±5°動靜負(fù)載：30Kg\50Kg螺桿導(dǎo)軌：0801\R3單軸長行程XYθ對位平臺臺面尺寸：200*225mm以上重復(fù)精度：P±4um\UP±2um行程角度：X:400\mmY:±50mm\±10°動靜負(fù)載：30Kg\100Kg...