直驅(qū)電機模塊化設(shè)計,可自由組合,對位精度可達0.5um,GXYR對位模塊采用無槽直線電機及盤式DDR為動力,利用交叉滾子導(dǎo)軌與軸環(huán)做導(dǎo)向,內(nèi)置高分辨率光柵,實現(xiàn)XYθ三軸聯(lián)動。是理想的測量儀器和檢測設(shè)備的定位機構(gòu),可用于半導(dǎo)體/液晶相關(guān)制造設(shè)備和潔凈環(huán)境下的圖象對準機。
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XYθ對位模組
臺面尺寸:120*120mm
重復(fù)精度:±0.5um
行程角度:±10mm/60°
動靜負載:6Kg
傳動機構(gòu):直線電機 |
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Yθ對位模組
臺面尺寸:200*200mm
重復(fù)精度:±0.5um
行程角度:±12.5mm/280°
動靜負載:30Kg
傳動機構(gòu):直線電機 |
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單軸長行程XYθ對位模組
臺面尺寸:120*120/200*200mm
重復(fù)精度:0.5Um
行程角度:XY:±10-12.5mm\Y:±30°-140°
動靜負載:6Kg\30Kg
傳定機構(gòu):直線電機 |


