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重載型超高精密對位平臺

發(fā)布時間： 2019-08-19

瀏覽次數(shù): 396

特性：

靜負載2000Kg

絕對定位精度＜10um

重復定位精度±0.5um

側(cè)向力20Kg＜20um??

可用于一次對位

應用案列：實際應用于A客戶XR系列面板貼合，并搭配軟件使用一次對位功能。

驗證結(jié)果：經(jīng)過2500Kg重壓2000次后，功能精度正常。

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特性：靜負載2000Kg絕對定位精度＜10um重復定位精度±0.5um側(cè)向力20Kg＜20um 可用于一次對位應用案列：實際應用于A客戶XR系列面板貼合，并搭配軟件使用一次對位功能。驗證結(jié)果：經(jīng)過2500Kg重壓2000次后，功能精度正常。

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