直驅(qū)電機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合，對(duì)位精度可達(dá)0.5um，GXYR對(duì)位模塊采用無(wú)槽直線電機(jī)及盤式DDR為動(dòng)力，利用交叉滾子導(dǎo)軌與軸環(huán)做導(dǎo)向，內(nèi)置高分辨率光柵，實(shí)現(xiàn)XYθ三軸聯(lián)動(dòng)。是理想的測(cè)量?jī)x器和檢測(cè)設(shè)備的定位機(jī)構(gòu)，可用于半導(dǎo)體/液晶相關(guān)制造設(shè)備和潔凈環(huán)境下的圖象對(duì)準(zhǔn)機(jī)。
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XYθ對(duì)位模組
臺(tái)面尺寸：120*120mm
重復(fù)精度：±0.5um
行程角度：±10mm/60°
動(dòng)靜負(fù)載：6Kg
傳動(dòng)機(jī)構(gòu)：直線電機(jī) |
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Yθ對(duì)位模組
臺(tái)面尺寸：200*200mm
重復(fù)精度：±0.5um
行程角度：±12.5mm/280°
動(dòng)靜負(fù)載：30Kg
傳動(dòng)機(jī)構(gòu)：直線電機(jī) |
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單軸長(zhǎng)行程XYθ對(duì)位模組
臺(tái)面尺寸：120*120/200*200mm
重復(fù)精度：0.5Um
行程角度：XY:±10-12.5mm\Y:±30°-140°
動(dòng)靜負(fù)載：6Kg\30Kg
傳定機(jī)構(gòu)：直線電機(jī) |
