特殊設(shè)計XYθ對位平臺采用X、Y、θ三軸模塊化搭配，可因應(yīng)非標(biāo)設(shè)計需求，可隨意搭配X、Y軸不同行程需求，達到不同功能之對位與長行程移載一體設(shè)計需求，節(jié)省設(shè)計空間與機構(gòu)成本。
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XYθ對位平臺
臺面尺寸：130*130mm
重復(fù)精度：P±4um\UP±2um
行程角度：±5mm\±3°
動靜負(fù)載：15Kg\30Kg
螺桿導(dǎo)軌：0801\R3 |
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Yθ對位平臺
臺面尺寸：200*200mm
重復(fù)精度：P±4um\UP±2um
行程角度：±25mm\±5°
動靜負(fù)載：30Kg\50Kg
螺桿導(dǎo)軌：0801\R3 |
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單軸長行程XYθ對位平臺
臺面尺寸：200*225mm以上
重復(fù)精度：P±4um\UP±2um
行程角度：X:400\mmY:±50mm\±10°
動靜負(fù)載：30Kg\100Kg
螺桿導(dǎo)軌：0801\R3
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