一字體UVW對位平臺采用2~3點支撐，由三個驅動軸組成，因為一字體排列支撐可讓平臺達到小型化并保持薄、穩(wěn)之優(yōu)點，空間占比更小，加上三軸XXY同時驅動可達到精準定位。?
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臺面尺寸：70*115~90*600mm
重復精度：P±4um\UP±2um
行程角度：±5mm\±1~3°
動靜負載：10-15Kg\25~30Kg
螺桿導軌：0801（0802）\R2030 |
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臺面尺寸：80*180mm
重復精度：P±4um\UP±2um
行程角度：±5mm\±5°
動靜負載：30Kg\80Kg
螺桿導軌：0801\R2045
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臺面尺寸：126*326mm以上
重復精度：P±4um\UP±2um
行程角度：±5mm\±2°
動靜負載：10Kg\30Kg
螺桿導軌：0801\R2045 |