UVW對(duì)位平臺(tái)是一種三軸并聯(lián)機(jī)構(gòu)。XY兩軸線性運(yùn)動(dòng)和z軸旋轉(zhuǎn)的θ。借助卓力漢光tmc xyr運(yùn)動(dòng)控制器的嵌入式運(yùn)動(dòng)算法和軟件，可以實(shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動(dòng)、兩軸直線插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)和任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動(dòng)。UVW對(duì)位平臺(tái)是高精度視覺對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的機(jī)械執(zhí)行部分。主要用于曝光機(jī)、鍵合機(jī)、掩模打印機(jī)、晶圓對(duì)準(zhǔn)、零件安裝、PCB鉆床、LCD照明特性檢測(cè)、切割機(jī)、貼片機(jī)(LCD/fpc)、屏幕打印機(jī)等場(chǎng)合。

　　UVW對(duì)位平臺(tái)總體結(jié)構(gòu)：

　　UVW對(duì)位平臺(tái)通常由四個(gè)模塊組成：上表、下底和中間。從模塊分布的結(jié)構(gòu)上，可以分為對(duì)稱結(jié)構(gòu)和非對(duì)稱結(jié)構(gòu)，而對(duì)稱結(jié)構(gòu)又可以分為交叉對(duì)稱結(jié)構(gòu)和四邊形對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

　　不對(duì)稱結(jié)構(gòu)通常用于超薄或定制需求，通常不能在中間設(shè)計(jì)通孔，因此在某些特定情況下使用。對(duì)稱結(jié)構(gòu)在運(yùn)動(dòng)算法上更為通用，并且可以在對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)的中心設(shè)計(jì)通孔，在一定程度上可以滿足透射和反射的對(duì)準(zhǔn)要求，因此得到了廣泛的應(yīng)用。對(duì)稱結(jié)構(gòu)中的四邊形分布具有較強(qiáng)的剛性和可擴(kuò)展性，所以卓力漢光學(xué)對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)采用的是更多的四邊形對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

　　校準(zhǔn)平臺(tái)模塊：

　　UVW對(duì)位平臺(tái)通常由四個(gè)運(yùn)動(dòng)模塊組成，其中三個(gè)模塊配有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，另一個(gè)模塊為驅(qū)動(dòng)(非驅(qū)動(dòng))模塊。由于定位平臺(tái)具有緊湊的結(jié)構(gòu)，并且側(cè)驅(qū)動(dòng)模塊在長(zhǎng)度方向上節(jié)省空間，因此通常使用它。對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)模塊通常由x軸、Y軸和θZ軸組成。當(dāng)這三個(gè)軸組合成對(duì)中平臺(tái)模塊時(shí)，通常會(huì)將其分為幾個(gè)結(jié)構(gòu)：雖然對(duì)中平臺(tái)是按模塊搭建的，但由于在實(shí)際施工過程中對(duì)加工、裝配、檢驗(yàn)、運(yùn)動(dòng)控制等要求較高，建議沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶不要購(gòu)買模塊并自行安裝。

　　顧名思義，對(duì)齊平臺(tái)用于對(duì)齊。任意兩個(gè)工件需要組裝在一起，可以使用對(duì)中平臺(tái)。然而，并非所有工件組件都需要對(duì)齊平臺(tái)，因?yàn)樗鼈儾恍枰绱烁叩木?。校?zhǔn)平臺(tái)的精度可達(dá)到1微米，用于芯片印刷。

　　目前，UVW對(duì)位平臺(tái)的應(yīng)用主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓切割、封裝檢測(cè)、PCB制造行業(yè)的曝光機(jī)、絲網(wǎng)印刷機(jī)、層壓機(jī)、壓力機(jī)、PCB板切割、手機(jī)制造、lcd/led面板制造等高速高精度行業(yè)，太陽(yáng)能電池板銀絲印刷。這些行業(yè)只是校準(zhǔn)平臺(tái)用戶的先驅(qū)，未來隨著自動(dòng)化的加速，更多的行業(yè)將使用這種計(jì)數(shù)器平臺(tái)，稱為“自動(dòng)設(shè)備CPU”。